潔凈廠房排氣系統基本要求
發布者：翼展凈化工程公司瀏覽次數：發布時間：2024-02-28
由于電子工業潔凈廠房各類工藝排氣中的組分十分復雜，有的工序或設備的工藝排氣中有害物質的濃度還可能較高，因此在國家標準《電子工業潔凈廠房設計規范》(GB 50472） 中對排風系統設計作了如下規定：
1.排風介質中含有劇毒物質時，其排風機和處理設備應設備用，并應設置應急電源。排風介質中含易燃、易爆等危險物質或工藝可靠性要求較高時，其排風機應設備用，并應設置應急電源。
2.排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風系統，其風量應按在正常運行和事故情況下，風管內這些物質的濃度不大于爆炸下限的 20%計。
3.排除有爆炸危險的氣體和粉塵潔凈廠房的排氣設施的局部排風系統，應設置消除靜電的接地裝置。氣管路、應保持相對于路由區城一定的負壓值，對排風系統中含有毒性、爆炸危險性物質的排放。
上述規定是依據近年來電子工業潔凈廠房工程的設計實踐和已經投人運行的相關工程項目的安全可靠運營的經驗總結，并且參照了國外相關標準的技術要求。在美國消防協會 (NFPA) 2018年版的 《半導體制造的消防標準》(NFPA 318） 中要求：“排風系統應設有自動應急電源；應急電源工作時，應達到不低于排氣系統 50%的容量；使用可燃、易燃氣體或化學品的設備，應設有可燃、易燃氣體或蒸汽濃度低至爆炸下限 20%以下的排氣系統。
據了解，國內已經建成投運或正在建設的微電子生產用潔凈廠房內有爆炸危險的可燃、易燃氣體或蒸汽和粉塵的排風系統，為確保潔凈廠房的安全可靠性、排風系統的排風量均應達到在正常運行或事故情況下，排風管內這些有害物質的濃度不得大于該物質爆炸下限的20%計。為此在排風系統設有吸人房間空氣的自動裝置，并在排風管內設有氣體濃度報警裝置，當排風系統中的有害物質派度超過規定值時，在進行報警的同時，自動開啟吸人空氣降低排風中有害物質的裝置，使排風系統總是不會因意外火源引發著火事故潔凈室（區）及其上、下技術夾層均具有氣密性良好的要求，如果在潔凈廠房中含有有毒可燃、 易燃物質的排氣系統一旦發生泄漏事故將會帶來十分嚴重的安全隱患，一旦超出規定限值可能使作業人員中毒甚至發生著火事故，所以相關規范中規定含有毒和易燃、易爆等危險物質的排風系統的排風機、處理設備均應設置備用電源、備用風機，以防止排氣系統不正常停機事故的發生；并且這類排風系統內應保持相對于風管路由區城一定的負壓值，以避免發生泄漏事故。不僅如此，在相關規范中還規定在使用有毒、可燃、易燃、有爆炸危險物質的生產工藝設備的‘氣體分配箱”、排風管道連接處和相應的潔凈室（區）的室內環境設有氣體泄漏報警裝置，為避免因危險物質的泄漏超過規定限值引發安全事故的發生，并應設置氣體報警裝置與排風風機的自動連鎖控制。
潔凈廠房排氣 （廢氣）系統的設計建造安全技術措施主要有如下基本要求。
①排氣系統應具有連續不斷運行的功能，這是確保潔凈廠房安全穩定運行的重要條件之一，也是保持潔凈室的潔凈度等級和產品生產過程不被玷污的必需的技術措施。如果潔凈廠房內某排氣系統因安全技術措施出現故障導致其中斷運行，將會使該排氣系統涉及的潔凈室（區）及其范圍內生產工藝設備產品生產發生的有害物質散發到相關房間內，其嚴重后果是不言而喻的。此，“連續運行”是潔凈廠房排氣系統首要的安全技術措施基本要求。
② 潔凈廠房中各類排氣應嚴格遵守 “不準混排”或應按廢氣種類和不相容原則分類、分系統設置。這里所指的 “不相容”，Cincompatible）是化學物質經由非故意的結合，可能產生劇烈的反應或無法控制的狀況，其釋放的能量可能引起危險。在電子工業集成電路、液晶顯示器面板等產品生產中，由于其生產過程需用數十種不同物化性質的化學品、特種氣體，因此在這類潔凈廠房內的排氣系統必須十分嚴格執行“不準混排”“按不相容原則分類、分系統”，以確保潔凈廠房的安全穩定運行。例如在 GB 51401 中明確規定：氮氧化物度氣、高濃度酸皮氣應單獨設置皮氣系統，外延尾氣處理系統應單獨設置等
③各類排氣系統設計建造和運行應具有可靠的防止泄漏/滲漏的技術措施。簽于各類排氣系統中排出的介質分別或同時具有易燃易爆、毒性、腐蝕性、氧化性和室息性等，一旦從排風系統泄漏到所涉及的環境，將可能引發火災、爆炸、中街等危區生命財產的重大災難性事故，因此防泄漏/滲漏是排氣系統安全技術措施的重要基本要求。
④依據排氣系統排出廢氣的有害物質，例如有火災、爆炸、有毒等危及生命財產安全的物質，在生產工藝設備排出口或在現場排氣處理裝置(POU） 等排出口，進入排風管道處的有告濃度應有嚴格限制，以確保排風管道至排人大氣的排氣間的路由管道、設備區其周圍環境的安全。在標淮規范中明確規定的有．燒類尾氣處理系統處理后的燃燒爆炸性氣體濃度應保持在萁燃燒范圃卞限值的 25%以下，為防止運行過程中排氣管道內“超過限值”，通常應設有稀釋措施；當采用轉輪濃縮處理揮發性有機物廢氣時，濃縮后的揮發性有機物廢氣濃度不應大于燃燒范圍下限的 50%等
